淺談潔凈室等級規范及相關分類

華銳凈化工程 2019-05-27 13:49:52 閱讀

隨著技術水平的提高,無塵環境被廣泛應用于各行各業的生產過程中,以確保產品的零污染和高質量要求。
 潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。是指在一定空間范圍內去除空氣中的微粒、有害空氣和細菌等污染物,并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲、振動、照明和靜電控制在一定需求范圍內的專門設計的房間。 
   
  一、潔凈室管控項目 
  正如前面潔凈室的定義所講,潔凈室不單要對塵埃粒子的占有量進行要求, 
  而且對整個環境等的相關因素進行管控,具體項目如下: 
  1.能除去空氣中飄游之微塵粒子;2.能防止微塵粒子之產生 
  3.溫度和濕度之控制;4.壓力之調節 
  5.有害氣體之排除;6.結構物與隔間之氣密性;7.靜電之防制;8.電磁干擾預防;9.安全因素之考慮。 
  10.節能之考量 
   
  二、潔凈室凈化等級劃分標準 
  世界各國均有自定行的定義規格,但目前比較普遍通用的還是美國聯邦標準209E和日本采用公制以每立方公尺為單位的ISO標準。 
  209E標準中潔凈室等級以“M”字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數字是以每立方公尺中≥0.5μm之微塵粒子的數目以10的冪次方表示,取其指數表示。若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5等表示。 
  日本在209E標準的基礎上采用公制單位,即以每立方公尺為計數單位的ISO標準。以0.1μm微粒子為計數標準,表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class9表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class 9。 
   
  三、潔凈室分類 
  按照潔凈室的架構不同而分為紊流式、層流式、復合式三種。 
  1.紊流式 
  空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 
  優點:構造簡單、系統建造成本,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。 
  缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。 
  2.層流式 
  空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由對立面的地板或隔墻板排風,此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用,一般其潔凈室等級為100以下。 
  優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。 
  缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。 
  3.復合式 
  復合式為將紊流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。 
   
  四、潔凈室氣流之流動 
  潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素趨于混亂。 
  1.氣流速度數值在0.2~0.52m/s之間,屬微風區域,易受人、機器動作的干 
  擾趨于混亂。雖提高風速可抑制此干擾,但因風速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,以最適當的風速供應,達到經濟性效果。 
  2.換氣次數(氣流速度的展現) 
   凈化等級與換氣次數的對應關系: 
   100級 ≥360次/h 
   1000級 ≥150次/h 
   10000級 ≥25次/h 
   100000級 ≥15次/h 
   
  五、潔凈室塵埃測量標準 
  潔凈室塵埃測量需按照如下要求進行: 
  1.靜態測量 
  環境自凈20min后,方可測量 
  2.測量點選擇 
  在距離地板最少1.2m處測量(即在所需的工作臺面上測量) 
  3.風機及Hepa檢驗時(風速、塵埃數量) 
  在Hepa下方3cm處取其四角、中心五點進行檢驗 
   
  六、潔凈室的保養 
  潔凈室屬于一套自帶獨立功能的復雜設備,正如其他自動化設備一樣,同樣需要定期、如時的保養維護。只有維護保養到位,其凈化功能才能淋漓盡致的發揮,最終達到使用者對環境質量預期的管控效果。潔凈室的保養主要涉及以下內容: 
  1.高效過濾器的功效檢查及保養 
  (1)泄露測量/季。在過濾器下方3cm左右處進行塵埃顆粒量測,含及整個過濾面,逐行量測。 
  (2)壓損測量/季。壓損即指風機排出的氣流經高效過濾(阻塞)后的損失。 
  2.初效過濾器的維護保養 
  初效過濾器是FFU組合中的第一道濾網,也是室外空氣進入潔凈室的第一道關口。過濾水平通常為30~65%左右,是否可能
 
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